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單軸傾角傳感器的原理
單軸傾角傳感器是依據(jù)加速度傳感器傾斜后的角度與重力加速度成函數(shù)關系的原理來測量傾角的。加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結構的偏轉，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。